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公司新闻导电滑环是半导体设备的高端精密旋转配套核心部件,专为半导体行业自动化生产、高精密、高可靠性工况设计,可实现 360° 无限制旋转下的电力 / 编码器型号及各种敏感信号稳定传输,可预留中心通孔适配设备传动轴、工艺管路、检测线缆穿设需求;还可集成气、液旋转关节(可满足正负压要求),实现电 / 信号 / 气 / 液 等一体化传输,全面适配半导体前道制造、后道封测、全流程检测及自动化配套全环节设备。

导电滑环核心应用场景
贴合半导体晶圆加工、芯片封装、成品检测全生产流程,适配核心设备旋转机构:
1.前道晶圆制造设备:光刻胶涂胶显影机、刻蚀机、薄膜沉积设备(PVD/CVD)、化学机械抛光机(CMP),用于旋转卡盘 / 靶台 / 磨头,通孔穿设晶圆承载轴、真空 / 工艺气体管路。
2.后道封装测试设备:晶圆划片机、芯片粘片机、引线键合机、塑封机,适配旋转分度盘 / 夹取机构,通孔穿设吸附管路、检测 / 驱动线缆。
3.全流程检测分选设备:晶圆探针台、芯片外观检测机、电性能检测机,用于旋转工作台 / 云台,保障高保真检测信号传输,通孔穿设镜头调焦轴、探针传动轴。
4.自动化配套设备:晶圆 AGV 旋转顶升机构、产线机械手、FOUP 搬运机构,适配旋转关节 / 上料台,实现小型化集成传输。